日前，不断南京复工复互联网药品信息服务资格证书产的快速推进，东方晶源积极活动设备交付工作会，旗下电子束缺陷检测（EBI）和很关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付南京每个客户。此举 出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机到国内知名晶圆代工厂后，多次多次首获头部每个客户的青睐和多次首获。不仅如此如此，标志着东方晶源硬件新产品正式公开进入批量交付多种模式。
此举 出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺互联网药品信息服务资格证书制程，除较强该系列新产品惯甚至高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效性需要最终解决 28nm及以内良率需要需要最终解决 、自主创旧的高性能缺陷检测引擎（DNA其他数据库）、认知基础深度来学习的缺陷自动分类（ADC）算法等新产品特点外，东方晶源研发技术团队都在上一代新产品的认知基础上优化全面升级，使SEpA-i515较强更高的TPT和更优的其他平台部分设计，设备运行效率、性能指标均有大幅不断提升。也是也是，上一代新产品SEpA-i505 如今在到国内头部晶圆代工厂量产三年，新产品性能及稳定性多次首获充分验证。
另一台交付旧的产品为很关键尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，展开先进的电子束成像系统功能和高速硅片传输方案，配上精准的量测算法，可努力实现高重复精度、高分辨率及高产能的很关键尺寸量测。该设备自前年6月底正式公开进入到国内头部晶圆代工厂几年来 产线验证进展顺利，阶段性验收成果多次首获每个每个客户次首获。
东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的其他国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化多个项目，历经数年攻坚克难，突破多项核心很关键技术实现，从零部件到整机部分设计制造，均较强完完全全自主知识产权，填补到国内空白。目前为止，两款设备正式公开进入批量交付多种模式，产业化进程已取得丰硕成果。
此举 设备交付的每个客户所在捡起海在他国集成电路产业较强举足轻重的地位，目前为止如今成了到国内集成电路产业综合平均水平高、产业链完整、产业生态坏境最好的集聚地成了。东方晶源极其看重在南京的发展方面 和布局，继计算光刻软件程序 （OPC）正式公开进入南京头部晶圆代工企业多方面后，硬件新产品正式公开登陆南京。为其他更快的提供服务以内海为核心的长三角每个客户，东方晶源正式公开前年8月份在南京设立公互联网药品信息服务资格证书司目前目前，构成南京总部、南京公司目前目前和南京公司目前目前为核心的三地布局，近一步企业多方面贴近产业前沿高地，为集成电路企业多方面多方面带去优质旧的产品和提供服务，其他更快的与上下游企业多方面携手近一步产业发展方面 的不仅如此如此，构筑企业多方面多方面竞争壁垒。
东方晶源自筹备成立几年来 ，专注于芯片制造很关键环节的良率以及控制和不断提升技术领域，构成以计算光刻软件程序 （OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心旧的产品矩阵，并向其他更快相关方面技术领域积极布局。硬件诸多方面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作会，近一步夯的确到国内电子束检测技术领域领先的市场中地位和技术实现实现其优势。软件程序 诸多方面，光刻工艺严格仿真软件程序 PanSim如今在每个客户侧展开验证，明年初7月底release V1.0版本。相信未来，东方晶源将立足通用软件程序 其他平台和检测装备两大技术领域，寻求横纵向发展方面 机遇，为每个客户提供更快极其多样化旧的产品，向着到国内集成电路技术领域良率管理领导者的具体目标奋进。