东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日  ，由中国集成电路创新第一阵容主办的”2022集成电路产业链协同创新迅速发展交流会”以六大会场加必删 连线的以此同步召开。腾讯必删 集成电路全产业链各环节的优秀企业中、高校和科研院所的千余位代表行业多参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海女士受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业各种技术创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI）  ，取得各种技术创新奖。

　　“IC创新奖”由中国集成电路创新第一阵容主办  ，面向中国集成电路产业链上下游企事业单位确定征集 ，重点鼓励集成电路各种技术创新、成果产业化、产业链上下游深度合作  ，是集成电路产业很关键部分部分的各种技术奖项这是 ，不仅如此如此各种技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大各种技术创新和很关键部分各种技术开发其他方面成就 重大突破的单位确定和大团队 。这次摘得行业多重磅赛事的很关键部分奖项 ，依然彰显出东方晶源在电子束检测、量测细分领域的各种技术实力超群和行业多的整体高度认可。

　　检测是芯片制造厂商全面总体水平 良率的很关键部分方法。电子束检测设备具有一超高精度  ，在高端芯片制造时间过程发挥的作用明显日益大。目前为止 ，该类设备被中国厂商垄断  ，这是 制约中国芯片制造自主可控的很关键部分瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，失败研已发出中国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505  ，可公司提供 完整的纳米级缺陷检测和深入分析 解决好方案。目前为止已针对中国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证最后表明其次指标与中国一线对标机台至少同等总体水平  ，失败解决好中国在电子束检测细分领域的很关键部分各种技术解决好。

　　东方晶源在电子束检测、量测细分领域已深耕多年并失败正式推出多款设备 ，成就 重大突破。除这次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸很关键部分尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于十月份 6月提前进入产线验证  ，目前为止失败完成成熟制程量产验证  ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异各种各种产品需求基本要求  ，性能依然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于十月份 3月提前进入产线验证 ，目前为止但是提前进入所有客户 产线小规模试产。不仅如此如此  ，东方晶源还于最近近期发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，目前为止该设备工程机（Alpha机）但是针对首轮wafer demo  ，需要各种各种产品需求28nm及至少用制程各种产品需求  ，Beta机集成工作会加速推进中 ，已成就 所有客户 订单 ，提前进入产线验证指日可待。

　　这是 这样一家聚焦集成电路良率管理细分领域 ，以全面总体水平 芯片制造门槛为使命的半导体企业中  ，东方晶源但是以研发创新为迅速发展核心 ，随着丰富产品中矩阵并全面总体水平 产品中性能  ，填补多项中国空白。因为未来 ，东方晶源将依然立足一体化该软件其他平台和检测装备两大细分领域  ，以所有客户 为中心建设  ，以整个市场为导向  ，随着针对各种技术突破与产品中创新  ，与中国集成电路产业上下游企业中勠力同心 ，推动中国集成电路制造产业依然高速迅速发展。